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基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器

  • 申请号:2013103988704 申请公布号: CN103439268B
  • 申请日: 2013-09-05 申请公布日: 2016-05-04
  • 申请(专利权)人:重庆乡愉科技有限公司 专利代理机构: 自营(400-008-2859)
  • 分类号:G01N21/25

专利介绍

本发明涉及一种基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器,包括传感光源、激发光源、第一耦合器、光声腔体及信号处理电路单元,传感光源、激发光源出射激光经第一耦合器由光纤导入光声腔体内;光声腔体包括陶瓷套管及高灵敏度膜片;激发光源出射激光激发气体分子产生光声信号,并引起高灵敏度膜片振动;传感光源作为检测光信号入射到高灵敏度膜片表面,被反射回光纤端面,经光纤输出至传感光源的腔内产生自混合光声光谱信号;自混合光声光谱信号经信号处理电路单元处理,获得高灵敏度膜片振动频率和幅度,进而获得气体的浓度、压力信息。本发明采用自混合干涉传感技术,光路结构更加简单可靠,可实现远距离,分布式气体检测。